디스플레이 공정중 반도체 기판에 박막 성장을 진행하는 곳입니다.
공기 중 입자들의 농도가 제어되도록 먼지의 발생, 유입, 유보가 최소화되도록 되어 있으며, 다른 관계된 수치인 온도, 습도, 그리고 압력이 요구에 따라 제어되는 방입니다.
